产品特点&应用：

85K-475K温度范围，可扩展液氦应用（4.4k）。
4探针点测系统，最多可定制8探针点测系统。
低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜。
可定制电动或半自动测试系统。
应用于I-V/C-V测试、RF测试。
应用于纳米级电子器件测试、微机电测试.

产品参数：

温度系统

温度范围：85K-475K
温控精度：±0.1℃（@85K-250K），±0.5℃（@251K~475K），连续变温无节点。
温度稳定性：±0.1℃（@85K-250K），±0.5℃（@251K~475K）
降温时间：20min（指降到目标温度后稳定下来所需要时间）。
加热时间：20min（指上升到目标温度后稳定下来所需要时间）。

真空系统

真空度：10-3mbar（增加涡轮分子泵组可获得10-mbar）
抽空时间（@常温）：15min

载物台及基座

载物台尺寸：2~8”（可选）
样品夹具：？？？？
载物台移动基座：N/A（可升级X-Y-Z-R轴移动功能）

探针座

数量：4套，最多可配置8套。
行程：25mm*25mm*25mm
精度：10μm
可定制更大行程和更高精度的探针座。
可兼容DC、RF测试探针（须配套相应的探针夹具）。

真空腔体

材质：不锈钢
腔体尺寸：305mm（12”，外径，根据载物台尺寸不同会有所变化。）
观察窗口：4~8”（根据载物台尺寸确定）
观察窗材质：石英玻璃（可升级近红外截止玻璃，屏蔽外界热辐射）
取放样品通道：
抽气口：KF??法兰
致冷剂入口：KF？？法兰
测试接口：BNC（KF法兰）
破真空阀：？？？？

致冷剂（液氮LN2）

容器：杜瓦瓶
体积：50L（可选更大容积如80L或以上）
消耗：5L（最高温度降至最低温度）

显微镜

类型：长工作距离单筒显微镜
光学放大倍数：
配套数字CCD，用于观察（显示器）、拍照、录像等操作。

显微镜基座

不锈钢支撑杆（Boom Stand），伸缩万向支架。

系统平台

1. 高刚性钢结构系统平台。
2. 防震系统平台（可选项）。

系统尺寸

根据系统载物台尺寸及配置参数确定。